GW-SST 旋转喷淋去胶机

GW-SST 旋转喷淋去胶机

可用于金属剥离，光刻胶剥离，去除聚合物及其它要求苛刻的溶剂。该设备适用于50~200mm晶圆 ，配备1个或2个处理腔室，2/4/6个药液桶(可选配)和可定制的转子。采用PLC控制系统，操作更简便，设计更安全，性能更高，储存药液控温系统更稳定。

可支持GEM / SECSII通信协议和Datalog的上传。

产品优势

●采用PLC触摸屏控制系统，操作简单、直观                                           ●高洁净微尘控制于每次运转增加量：0.2/µm ≦30 颗

●适用于于50~200mm的晶圆                                                               ●热氮气温度值:180℃,温度控制精度±5℃

●可配备1个或2个工艺处理室                                                                ●2~3个可加热药液桶,加热温度可达到:80℃;温度控制精度±3℃,且支持温度实时监控

●可配置2/4/6个药液桶(可选配)                                                            ●震动值控制于≦300μm(含)以下

●可定制转子(4/6/8寸)                                                                        ●马达旋转范围：0~2400/RPM, 转速误差范围±5/RPM                                         

●温控精密，电化学加热更快速                                                             ●芯片破片率：＜1/10000

●管路设计优化，故障少，易于维护                                                        ●水痕：＜1/10000

●照SEMI S2 & UL 设计，操作更安全                                                     ●运行率(Uptime):>95%

支持数据记录或GEM/SECSII通信