GW-SAT旋转喷酸刻蚀机

GW-SAT旋转喷酸刻蚀机

GW-SAT旋转喷酸刻蚀机是需要酸和碱的加工应用的首选机台，可提供25或者50个晶圆配置，可安全、低成本的提供可重复均匀工艺结果，在市场上酸处理中产量最高的，可处理50-200毫米的晶圆。

GW-SAT旋转喷酸刻蚀机系统操作方便，一个简单的触摸屏控制，允许操作员快速培训和管理，大量的软件和硬件联锁，确保了操作员的安全。

 产品优势                                                                                                                                         应有领域

       1.稳健的喷雾处理提供精确、稳健的过程控制，以处理制造挑战                                          后蚀刻清洁 

       2.适应性化学是从浓缩填充容器中大量原料计量                                                                  扩散前清洁            

       3.灵活的高级软件和PC控制提供了适应广泛的流程的能力                                                   砷化镓清洁                                           

       4.可重复自动处理控制所有过程参数提供可重复的结果                                                   金属蚀刻

       5. 低成本高吞吐量；低去离子水使用                                                                                  晶片回收蚀刻

       6. 化学物质通过过滤器从水箱中泵送到腔室中的分配歧管中，                                            氧化物蚀刻

           多喷嘴提供均匀的工艺和机械力，以优化工艺                                                                 UBM蚀刻

                                                                                                                                               薄膜蚀刻